リフトオフレジスト NPR9700/BLXシリーズ

当社ではリフトオフプロセスに最適なフォトレジスト(感光性材料)の開発に注力しています。 単層のポジタイプのレジストに加えて、細線化にも適した2層タイプのレジストも幅広く提供しており、2層タイプは従来の製品と比べ、低温ベークの実現とアンダーカット量の制御が容易であるという利点があります。
特長
NPR9700シリーズ
ポジ型レジスト
露光波長域:g線~i線(ブロードバンド対応)
一般的な露光条件で、容易に逆テーパー形状の形成が可能
良好な剥離性
BLXシリーズ
低温ベーク(125℃~160℃ベーク)
容易なアンダーカットのコントロール
良好な剥離性
製品用途
化合物半導体、光学デバイス、高周波デバイス、難エッチング材料
製品に関する
お問い合わせ
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