特長

NPR9700シリーズ

  • ポジ型レジスト

  • 露光波長域:g線~i線(ブロードバンド対応)

  • 一般的な露光条件で、容易に逆テーパー形状の形成が可能

  • 良好な剥離性

BLXシリーズ

  • 低温ベーク(125℃~160℃ベーク)

  • 容易なアンダーカットのコントロール

  • 良好な剥離性

製品用途

化合物半導体、光学デバイス、高周波デバイス、難エッチング材料

製品に関する
お問い合わせ

製品(SDS、TDS、ご使用方法、価格、購入先確認、カタログ、法令、サンプルなど)技術、協業については、特設サイトをご確認の上、お問い合わせください。