半導体業界で20年以上の製造実績
単層/２層対応
ポジ型
リフトオフレジスト
～お客さまの工程に合わせたレジストを
ご提案します～
SCROLL
NAGASE Lift-off Photoresist
当社ではリフトオフプロセスに対応した特徴的なフォトレジスト（感光性材料）を開発しています。
単層ポジ型レジストをはじめ、細線化に対応した2層型の下層レジストもご準備しております。
2層型は業界汎用品に比べ、低温ベークにより容易なサイドエッチングのコントロールを実現。
お客さまの個別のニーズ、細かなご要望にあわせた材料開発もご相談を承ります。
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g~i線露光
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容易な形状のコントロール
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容易に剥離可能
製品の強み
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NPR BLX残渣除去性がよい
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NPR BLX国内製造による安定した品質
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NPR BLX豊富な粘度ラインナップ
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BLX長期間の安定保存が可能
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NPR逆テーパー形状の形成が容易
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BLX層間のインターミキシングが無い
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NPR BLXアンダーカット量の調整が容易に可能
用途
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Market
- MEMS
- アナログ半導体
- 電子部品
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Device
- 高周波機器
- SAW/BAWフィルター
- パワーアンプ
- パワー半導体
- LED
- VCSEL
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Method
- 蒸着/スパッタリングによる金属配線
- 積層金属を一括でリフトオフ
- 高段差部の埋め込み