配線形成、微細加工、耐熱性向上

当社が培った配合技術を活用し、お客さまのプロセスに最適なポジ型レジストを提供いたします。

目標の厚みで塗布ムラが発生しないような粘度、濡れ性の調整が可能です。テーパー角調整についても配合・リソ条件によって最適化いたします。ベーク工程において、レジストパターンが変形するというような課題をお持ちの場合には、高耐熱レジストも取り揃えております。

既存レジストに課題をお持ちの場合はぜひ一度当社へご相談ください。

主に下記項目の調整が可能です。

• 膜厚調整

• 粘度調整

• 濡れ性向上

• 感度調整

• テーパー角調整

• エッチング耐性向上

• 耐熱性向上

全般

• ポジ型レジスト

• 露光波長域：g線～i線 (ブロードバンド対応)

エッチングレジスト：GRXシリーズ

• スピンコーター及びCAPコーターでの塗工可能

• 大型ガラス基板への適用可能

• 組成の最適化により、パターン線幅の面内均一性を向上

• サイドエッチング量が少なく、優れた基板密着性を実現

単層リフトオフレジスト：NPR9700シリーズ

• 一般的な露光条件で、容易に逆テーパー形状の形成が可能

• 耐熱性の向上

• 良好な剥離性

2層プロセス用下層エッチングレジスト：BLXシリーズ

• 低温ベーク (125℃～160℃ベーク)

• 容易なアンダーカットのコントロール

これら以外にも高耐熱レジスト、2層プロセス用上層レジスト、感光性絶縁膜等幅広く取り扱っております。
少しでも気になることがございましたら、ぜひ一度お問い合わせください。