提供価値

当社が培った配合技術を活用し、貴社のプロセスに最適なポジ型レジストを提供いたします。

GRXシリーズは塗布性能を高め、マスクブランクスに使用される大型ガラス基板への膜厚均一性の高い塗布が可能になりました。また、基板との密着性を高めることによってサイドエッチング量を抑制できます。剥離性も良好であり、スムーズな生産を実現します。

特長

  • 露光波長域：g線～i線(ブロードバンド対応)

  • スピンコーター及びCAPコーターでの塗工可能

  • 大型ガラス基板への適用可能

  • 組成の最適化により、パターン線幅の面内均一性を向上

  • レーザー描画にも適用可

  • パターン形状の最適化により、メタルエッチング性を向上

  • サイドエッチング量が少なく、優れた基板密着性を実現

  • 良好な剥離性

製品用途

液晶ディスプレイ、マスクブランクス

製品に関する
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