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• #レジスト

当社ではリフトオフプロセスに最適なフォトレジスト(感光性材料)の開発に注力しています。 単層のポジタイプのレジストに加えて、細線化にも適した2層タイプのレジストも幅広く提供しており、2層タイプは従来の製品と比べ、低温ベークの実現とアンダーカット量の制御が容易であるという利点があります。

• #レジスト

単層ポジ型レジストとしてGRXシリーズは良好な濡れ性によってスピンコーター・CAPコーターでの大型ガラス基板塗布が可能です。パターン形状と組成の最適化によりメタルエッチング性が向上しました。