フォトリソグラフィ用材料（剥離剤・エッチャント）
超微細化する半導体デバイスや、高精細・高機能化が進むフラットパネルディスプレイ。めまぐるしく進展する半導体やフラットパネル製造の世界において、迅速な開発力が必要とされる剥離剤・エッチャント（感光性材料）やレジスト剥離剤などの各種製品を製造しています。またプロセス管理の面においてもお客様への提案力に優れた実績を有するなど、エレクトロニクス業界の発展に貢献しています。
レジスト剥離剤
| 用途 | 製品名 | 液状 | 使用条件 | リンス液 | 剥離性能 |
AL 腐食性 |
粘度 | 法規 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ℃/分 |
ポジ 除去 |
残渣 除去 |
mPa･s （25℃） |
消防法 | PRTR | |||||
| FPD | N-327 | 水系 |
常温～50 /1～5 |
水 | ○ | ○ | ◎ | 8 | 非該当 | 非該当 |
| N-342 | 水系 |
常温～50 /1～5 |
水 | ○ | ◎ | ○ | 10 | 非該当 | 該当 | |
| N-300 | 非水系 |
60～120 /1～20 |
アルコール | ◎ | ○ | ◎ | 10 |
4類 3石 |
該当 | |
| 半導体 | N-530 | 非水系 |
80～100 /10～20 |
溶剤 | ◎ | ◎ | ◎ | 3 |
4類 3石 |
該当 |
| N-530HS | 非水系 |
80～100 /10～20 |
溶剤 | ◎ | ◎ | ◎ | 6 |
4類 3石 |
該当 | |
※下記シリーズに関しては、直接、お問い合わせください。
- ACTシリーズ
- Cu配線用レジスト剥離剤
- 厚膜レジスト（ポジ／ネガ）用剥離剤
- Al・Cu/p-Lowk用ドライエッチング・アッシング残渣除去剤
- ドライフィルムレジスト用剥離剤
エッチング剤
| Cr エッチャント | ： | 各種、エッチング液を取り揃えています。 |
| Al エッチャント | ： | 各種、エッチング液を取り揃えています。 |
| ITO エッチャント | ： | 各種、エッチング液を取り揃えています。 |
| Cu エッチャント | ： | お客様のニーズに合わせて、検討いたします。 |
＊その他の材料に関しては、直接お問い合わせください。
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