ポジ型単層レジストNPR9700 series
特徴
g線～i線ポジ型フォトレジスト
単層かつ一般的な露光現像条件で、容易に逆テーパー形状を形成可能
良好な剥離性
ラインナップ
粘度は11mPa・s、60mPa・s、135mPa・s
上記粘度で1~6μmの膜厚での塗布が可能
粘度のカスタマイズについてはお問い合わせください
プロセス例
| プロセス | 条件 |
|---|---|
| 基板 | 5インチ Si ウェハ |
| 塗布材料 | NPR9730T 60mPa·s |
| 塗布方式 | スピンコート |
| プリベーク | 90℃/120s, ホットプレート |
| 膜厚 | 3.0μm |
| 露光 | i線ステッパー（NA=0.45） |
| PEB | なし |
| 現像 | 2.38%TMAH, 23℃, 60s |
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