リフトオフプロセスとは
リフトオフプロセスとはフォトリソ工程のひとつであり、エッチング工程がないことが特徴です。
汎用エッチングプロセスと異なり、まずはじめにレジストをパターニングし、その上から金属を成膜、
その後の剥離工程にてレジストと金属の積層膜を一度に取り除くことで、金属配線を形成します。
エッチング工程を必要としないため、3STEPで配線形成が可能で、エッチング耐性のない基板にも好適です。
また当社では、単層向けのリフトオフレジストと、2層用の下層レジストをご準備しております。
お客さまのプロセスやご要望に合わせてお選びください。
汎用エッチングプロセス
リフトオフプロセス
製品の特徴
ポジ型単層レジスト
g線~i線の露光波長に対応したポジ型レジストです。
単層で逆テーパー形状を形成し、リフトオフができます。
逆テーパーの形状は、露光量や現像時間でコントロールが可能です。
こんなときにおすすめ
- プロセス数を減らしたい
- ネガ型ではなくポジ型でリフトオフを行いたい
- はじめてリフトオフを検討する
↓Read more
2層用下層レジスト
2層リフトオフ工程における下層材です。
インターミキシングを起こしにくく、剥離性に優れます。
アンダーカット量は、ベーク温度や現像時間でコントロールが可能です。
こんなときにおすすめ
- 上層レジストは既存のものを使いたい
(上層レジストはポジ型/ネガ型、KrFレジストでも可) - メタルの回り込みを抑えたい
- メタル成膜後の応力によるレジストのそりを抑えたい
↓Read more