用途 Market Device Method Market MEMS アナログ半導体 電子部品 Device 高周波機器 SAW/BAWフィルター パワーアンプ パワー半導体 LED VCSEL Method 金属蒸着 配線形成(PAD電極、 IDT電極など) 高段差部の埋め込み 多段層に一括配線形成 1.Resist Patterning 2.Metal Deposition 3.After Resist Lift-off