| ステンレス製ゲートバルブ |
| アルミニウム製ゲートバルブ |
| 矩形スリットバルブ |
ステンレス製ゲートバルブ
11000シリーズ 高真空タイプ（HV）
・手動式/圧空式
・フランジ：KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ：0.625”（DN16 mm）～32”（DN800 mm）
・圧力範囲：1.0×10-7 ～ 1.0×105 Pa
11000シリーズ 超高真空タイプ（UHV）
・手動式/圧空式
・フランジ：ICF
・サイズ：0.625”（DN16mm）～14”（DN350mm）
・圧力範囲：1.0×10-8 ～ 1.0×105 Pa
21200シリーズ
ロングライフゲートバルブ。
・高真空タイプ（HV）/超高真空タイプ（UHV）
・手動式/圧空式
・フランジ：KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ：0.625”（DN16 mm）～24”（DN600 mm）
・圧力範囲：（HV）1.0×10-7 ～ 1.0×105 Pa
（UHV）1.0×10-8 ～ 1.0×105 Pa
16000シリーズ
ゲートをパーティクルから保護する、PTFE製シールド付。
・HV高真空タイプ/UHV超高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ：KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ：1.5”（DN40 mm）～14”（DN350 mm）
・圧力範囲：（HV）1.0×10-7 ～ 1.0×105 Pa
（UHV）1.0×10-8 ～ 1.0×105 Pa
21700シリーズ
3ポジション型ゲートバルブ。
OPEN、CLOSEに加え、任意位置でゲートを止めることが可能。
・HV高真空タイプ/UHV超高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ：KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ：1.5”（DN40 mm）～20”（DN500 mm）
・圧力範囲：（HV）1.0×10-7 ～ 1.0×105 Pa
（UHV）1.0×10-8 ～ 1.0×105 Pa
71000シリーズ
CVD等 重負荷プロセス用ゲートバルブ。
ロングライフタイプ。
・HV高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ：KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ：2.0”（DN50 mm）～8”（DN200 mm）
・圧力範囲：1.0×10-7 ～ 1.0×105 Pa
※手動式：ビジュアルインジケータ付
72000シリーズ
CVD等 重負荷プロセス用ゲートバルブ。
・HV高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ：KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ：2.0”（DN50 mm）～8”（DN200 mm）
・圧力範囲：1.0×10-7 ～ 1.0×105 Pa
※手動式：ビジュアルインジケータ付
アルミニウム製ゲートバルブ
81000シリーズ
ロングライフタイプ。
ボディはフランジ上部で分割でき、最小限のクリアランスでゲートを取り外せます。
・HV高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ：KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ：1.5”（DN40 mm）～12”（DN300 mm）
・圧力範囲：1.0×10-4 ～ 1.0×105 Pa
83000シリーズ
ALLアルミニウム製ゲートバルブ。
ボディはフランジ上部で分割でき、最小限のクリアランスでゲートを取り外せます。
ゲート両サイドでシールする二重封じ込め設計。
・HV高真空タイプ
・手動式/圧空式
・フランジ：KF、ISO、ICF、JIS、ANSI
・サイズ：1.5”（DN40 mm）～4”（DN100 mm）
・圧力範囲：1.0×10-4 ～ 1.0×105 Pa
※手動式：ビジュアルインジケータ付
矩形スリットバルブ
28200シリーズ ステンレス製
・HV高真空タイプ/UHV超高真空タイプ
・圧空式
・フランジ：高さ≦6”（DN150 mm） ×幅 ≦78”（DN2,000 mm）
・サイズ：1.5”（DN40 mm）～14”（DN350 mm）
・標準MESCボルトタイプ/クランプタイプ
88200シリーズ アルミニウム製
・HV高真空タイプ/UHV超高真空タイプ
・圧空式
・フランジ：高さ≦6”（DN150 mm） ×幅 ≦78”（DN2,000 mm）
・サイズ：1.5”（DN40 mm）～14”（DN350 mm）
・標準MESCボルトタイプ/クランプタイプ
