ナガセテクノエンジニアリング株式会社は米国HVA社の日本国内販売代理店です。
高品質・コンパクトな高真空バルブ
HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。長年、大手半導体製造装置メーカーのOEM製品としても採用実績のある、高品質でコンパクトな高真空バルブを、ナガセテクノエンジニアリング株式会社が販売、修理・メンテナンスをおこないます。
用途
半導体製造装置、イオン注入装置、CVD装置
真空ポンプ、LED、太陽光パネル、真空チャンバー、研究機器
OEM採用事例
| 11000シリーズ | アプライドマテリアルズ | HDP‐CVD装置 |
| 21000シリーズ | アプライドマテリアルズ | イオン注入装置 |
| 16000シリーズ | ノベラス（ラムリサーチ） | CVD装置 |
| 11000シリーズ | Riber（リベール） | MBE装置 |
製品一覧
※製品カテゴリ（青字）をクリックすると製品一覧ページに飛びます。| ステンレス製ゲートバルブ | |
| ・高真空・超高真空スタンダードタイプ 11000シリーズ |
 カタログ（PDF3.4MB） |
| ・低振動、開閉頻度の高いアプリケーション用 21200シリーズ |
カタログ（PDF2.9MB） |
| ・シールド付ゲートバルブ 16000シリーズ |
カタログ（PDF2.8MB） |
| ・3ポジションゲートバルブ 21700シリーズ |
カタログ（PDF3.0MB） |
| ・各種CVD用ロングライフタイプ 71000シリーズ |
カタログ（PDF1.2MB） |
| ・各種CVD用スタンダードタイプ 72000シリーズ |
カタログ（PDF1.2MB） |
| アルミニウム製ゲートバルブ | |
| ・スタンダードタイプ 81000シリーズ |
カタログ（PDF2.0MB） |
| ・低コスト、シンプルデザイン 83000シリーズ |
カタログ（PDF1.0MB） |
| 矩形スリットバルブ | |
| ・ステンレス製 プロセスチャンバーなど 28200シリーズ |
カタログ（PDF1.5MB） |
| ・アルミニウム製 プロセスチャンバーなど 88200シリーズ |
カタログ（PDF2.1MB） |
