半導體(二)

PacTech LAPLACE Series 雷射輔助銲接/黏晶設備

產品特性
  • 藉由雷射加熱完成晶片/待銲物的Bonding,對比迴銲(Reflow process)或熱壓式銲接(Thermocompression bonding),LAPLACE設備以一次處理一個晶片的方式達到對銲接區域的局部性加熱,並且每個晶片/待銲物受熱時間小於一秒,熱應力的影響最小化。
  • 雷射銲接適用於多種金屬類型/材質的Substrate。
  • 高度彈性的客製化設計可依產品需求規劃相對應的機種/載台/Tooling。
  • 具備單一晶片Rework功能(移除原有晶片/ 重新Bonding新晶片)。
  • 適用晶片尺寸: min. 0.5mm*0.5mm, max. 20mm*20mm
  • XYZ軸精度: ±20μm / ±10μm / ±5μm / ±2.5μm
  • Cycle Time: 5 sec/chip
  • 適用產品: Flip Chip, Vertical Chip, Passive components, Cantilever Probe Card, Diode, MEMS



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