事業介紹WHS-Wafer Handling Systems
提供專業的晶圓搬運工具與自動化設備，主要應用於半導體製造、晶圓檢測及潔淨室作業。
WHS產品包含真空吸筆、晶圓夾具、吸嘴及自動化晶圓搬運系統等，依照實際操作需求設計，兼具安全性、穩定性及潔淨室相容性，可協助降低晶圓損傷與污染風險。
台灣長瀨為WHS台灣授權代理商。
SPS深耕半導體產業超過35年，專注於晶圓搬運及濕製程相關設備與解決方案。憑藉長期累積的產業經驗與工程技術，SPS持續開發符合先進半導體製程需求的高品質產品。旗下WHS®品牌以功能性、耐用性及潔淨室相容性為設計核心，產品涵蓋手動晶圓搬運工具至自動化晶圓轉移設備，協助客戶提升操作安全、製程穩定性及生產效率。
