製品情報

ドライポンプ
省電力化モジュール

HOT N2で配管内の⽣成物を抑制し、ポンプのモーター負荷低減 = 消費電⼒低減。

脱臭装置
デオライザー

従来型スクラバーとは異なる「100％気液接触」式脱臭装置。

排水浄化装置
アクアブラスター

様々な排水処理の悩みを解決する、排水処理概念を変えた排水浄化装置です。

オープンクリーンシステム
KOACH

オープン環境でクリーン度クラス最高（ISO 1）を作り出す画期的なクリーンユニットです。

塗布装置 Micro Mist

今まで実現できなかった特殊なコーティングを実現する液体スプレー装置です。

極低温測定技術
真空低温プローバー

極低温測定技術の集大成。水平垂直磁場・高周波・高温高圧等様々な条件の測定にも対応可能です。

極低温冷凍機
／クライオスタット

AC100Ｖ空冷型極低温冷凍機を採用にて簡単に４．２Ｋ～の特性試験が可能です。

半導体製造用各種
ハンドリングツール

高度なエンジニアリングと熟練した製造技術による、高品質で多種多様な基板搬送ツールです。

クライオポンプ

スパッタ装置・蒸着装置・イオン注入装置等に採用されているクリーンな高真空ポンプです。

HVA社 高真空バルブ

研究機器など様々な分野に対応する、高品質・コンパクトな高真空バルブです。

薬液管理装置
CMS

薬液の特性を考慮した管理手法の構築技術と薬液の精製技術です。

モバイル静電キャリア

接着剤なしで、あらゆる基板を瞬時に接着・剥離が可能なモバイル静電キャリアです。

表面欠陥検査装置
SCANTEC（外部サイト）

WEBやBATCHのインライン高速表面欠陥検査装置です。

農業・環境関連製品システム

養液栽培用の環境関連製品システムです。

マイクロチューブ
スタンド　TS-24

マイクロチューブの蓋を固定できるSBS規格のチューブスタンドです。

マルチパスフィルター
試験装置 Test Rig

各種フィルタの濾過性能・濾過効率をISO規格に基づき短時間で正確に測定する試験装置です。