ドライプロセス

ドライプロセス

ドライコーティングともいう。 物質を分子・原子レベルに蒸発・昇華させ、基材に成膜する方法。
ITOや無機酸化物の成膜に使われるスパッタリングが代表的。 専用設備となり高価だが、薄く、強度がある膜が作成できる。