スピンコート

スピンコート

基材を水平に高速回転させ、均一な膜厚を得る方法。 装置はスピンコーターまたはスピナーという。 平滑な数nmの極薄膜も得られるが、塗布面積は小さく、生産性効率は悪い。 低粘度液に適する。