ポジ型単層レジストNPR9730T
特徴
g線～i線ポジ型フォトレジスト
単層かつ一般的な露光現像条件で、容易に逆テーパー形状を形成可能
良好な剥離性
ラインナップ
粘度は11mPa・s、60mPa・s、135mPa・s
上記粘度で1~6μmの膜厚での塗布が可能
粘度のカスタマイズについてはお問い合わせください
プロセス例
アンダーカット量のコントロールや、
スピンカーブなど、詳細なデータについては、
お気軽にお問い合わせください。
Profile variety
