| 概要 | 真空ポンプ・バッテリー内蔵のコードレスポータブル真空ピンセットです。 真空ラインから離れた場所でも自由に作業できます。 人間工学に基づくデザインで操作しやすく、手のひらにぴったりおさまります。 推奨先端チップは含まれています。交換用先端チップは別売りにてご提供しています。 |
|---|---|
| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 12 | FWCR3 |
| 2〜8 | FWCR2 |
| 小型デバイス用 | FWCR4 |
FWA
FWTT
| 概要 | プロセスライン用ポータブル真空ピンセットです。 工場内のどこへでも本体ごと持ち運びできます。 充電式バッテリー2個と充電器が付属します。 H-Square製のあらゆる先端チップに対応します。 |
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| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 12 | FWA3AS2 |
| 2〜8 | FWAHAS2 |
| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 2〜8 | FWTTA1 |
| 小型デバイス用 | FWTTA1-AC-005 |
| 概要 | 工場内真空ライン用真空ピンセットです。 ウエハ、ダイ、パッケージ等を安全に搬送します。 静電気対策型。 先端チップは静電気対策PEEK製の他、様々な材質・形状を取りそろえています。 真空ピンセットは耐薬品・導電性PVDFです。 |
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| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 12 | VWSET-A |
| 4〜8 | VWSET-B／ VWSET-C （薄／化合物ウエハ用） |
| 3〜4 | VWSET-D／ VWSET-E （薄／化合物ウエハ用） |
| 小型デバイス用 | VWSET-F |
| 概要 | Breeze™ワンドは、脆弱な極薄ウエハ（50μm）に最適な非接触式のウエハハンドリングツールです。 薄い基板材料にストレスをかけずに搬送可能です。 GaAs、GaN、InP、SiCなどの衝撃と熱のいずれにも非常に傷つきやすい化合物半導体材料の基板搬送に最適です。 真空ピンセットでは保持が不可能は表面に多数穴・凹凸・反りのあるウエハあるいは厚ウエハなどの様々なサイズや形状のウエハにも対応します。 |
|---|---|
| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 3 | H2BST-3 |
| 4 | H2BST-4 |
| 6 | H2BST-6 |
| 8 | H2BST-8 |
| 12 | H2BST-12 |
| 概要 | Breeze™ワンドは、脆弱な極薄ウエハ（50μm）に最適な非接触式のウエハハンドリングツールです。 薄い基板材料にストレスをかけずに搬送可能です。 GaAs、GaN、InP、SiCなどの衝撃と熱のいずれにも非常に傷つきやすい化合物半導体材料の基板搬送に最適です。 真空ピンセットでは保持が不可能は表面に多数穴・凹凸・反りのあるウエハあるいは厚ウエハなどの様々なサイズや形状のウエハにも対応します。 |
|---|---|
| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 2 | H2B-2 |
| 3 | H2B-3 |
| 4 | H2B-4 |
| 6 | H2B-6 |
| 8 | H2B-8 |
| 12 | H2B-12 |