半導体製造用各種ハンドリングツール・装置石英カセット

各種半導体製造工程（エッチング／CVD／拡散／エピ／ウェット）対応の石英製カセット

概要	高耐熱、高精度、高安定性、高品質の石英製カセットです。石英カセットをはじめ、エピ用、エッチング用、ウエット処理用、炉管用など、ご要望に応じた仕様で各種石英製品のカスタマイズ対応が可能です。
特長	高精度・加工精度：≤0.02mm 極めて高い安定性・繰り返しの使用でも安定性能・長寿命最高品質・業界標準に適合した認定品質システムを採用・クラス1000クリーンルームで生産・超高純度SiO₂（純度99.9999%）・1200°Cまでの優れた耐熱性カスタマイズ対応・1個から対応・設計～サンプル製作まで短期間で提供高度アプリケーション対応・エッチング、CVD、拡散、エピ、ウェット工程まで幅広い石英ソリューションを提供

概要

高耐熱、高精度、高安定性、高品質の石英製カセットです。
石英カセットをはじめ、エピ用、エッチング用、ウエット処理用、炉管用など、ご要望に応じた仕様で各種石英製品のカスタマイズ対応が可能です。

特長