| 概要 | マスクのサイドを保持しフォトマスク（レチクル）の表面・裏面に接触することなく搬送できるツールです。 ハンドル角度が15°傾斜している為、マスクを保管容器や治具から1枚ずつ確実に出し入れが可能です。 可動部品を最小限にしてあるため、パーティクルが発生しにくく、クリーニングが容易です。 |
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| 特長 |
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| 対応マスクサイズ（inch） |
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| 5, 6, 7, 9 |
| 概要 | マスクを水平に保持しフォトマスク（レチクル）の表面・裏面に接触することなく搬送できるツールです。 各種容器に対応します。 可動部品を最小限にしてあるため、パーティクルが発生しにくく、クリーニングが容易です。 |
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| 特長 |
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| 対応マスクサイズ（inch） |
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| 5, 6, 7, 9 |
| 概要 | マスクの4点を保持しフォトマスク（レチクル）の表面・裏面に接触することなく搬送できるツールです。 水平オフセット或いはクリアランスに制限のあるニコン製マスクケースへのロード・アンロードなどの用途向けです。 |
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| 特長 |
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| 対応マスクサイズ（inch） |
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| 6 |
| 概要 | HMPシリーズは、マスクピックのグリッパをダメージや汚染から守り安全に収納できる卓上型収納ホルダです。 |
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| 特長 |
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| ラインアップ | 型式 |
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| 1本用 | HMP1 |
| 2本用 | HMP2 |
| 3本用 | HMP3 |
| 概要 | ２つの容器間でレチクルを安全・確実に自動搬送する移載装置です。お客さまの独自のカスタム仕様にも対応可能です。 |
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| 特長 |
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