半導体製造用各種ハンドリングツール・装置滑り止めパッド

基板搬送用ロボットおよびアライメント時における基板の滑りを解消する高性能な滑り止めパッド

概要	半導体ウエハおよびディスプレイ基板の滑り止め用に設計された高性能な滑り止めパッドです。強い水平方向の摩擦力を持ちながら垂直方向の付着力は最小限に抑える構造です。真空環境および常温／高温環境下においてウエハの搬送中の位置ずれや滑りを効果的に防止しスループットを大幅に改善します。
特長	・基板の滑りを解消・半導体対応素材で、汚染リスク低減・耐久性・長寿命・高温対応可（250℃～300℃）・耐薬品・耐プラズマ・耐UV

概要

半導体ウエハおよびディスプレイ基板の滑り止め用に設計された高性能な滑り止めパッドです。強い水平方向の摩擦力を持ちながら垂直方向の付着力は最小限に抑える構造です。
真空環境および常温／高温環境下においてウエハの搬送中の位置ずれや滑りを効果的に防止しスループットを大幅に改善します。

特長