半導体製造用各種ハンドリングツール・装置 SMIF PODオープナー

SMIFポッドの開閉ツール

SMIFPO型自動SMIFポッドオープナー対応ウエハサイズ：
8（inch）概要を見る PDF 動画

手動FOUPオープナー対応ウエハサイズ：
12（inch）概要を見る

概要	200mm用セミオート型SMIFポッドオープナーSMIFPO8です。開閉はシンプルな1ボタン操作。標準200mm　SMIFポッドに適合します。
特長	・卓上型・自動でスムーズな開閉。・静電気対策ポリプロピレン製ベース。・クリーンルームクラス1対応。・注文時にポッド型式をご指定下さい。

対応ウエハサイズ（inch）
8

概要	SMIFMAN8は、手動レバーでポッドのロックを解除するオープナーです。ポッド蓋の保管スペースがあり、ポットにアクセスする際には、ポッド蓋をクリーンに保つことができます。
特長	・手動型・クリーンルームクラス10対応。・注文時にポッド型式をご指定下さい。

対応ウエハサイズ（inch）
8

概要	FOMHはSEMI規格300mmFOUP用ピストル型オープナーです。ハンドルを90度回転させると、ドアメカニズムの損傷や、ドア内部を汚染することなく開閉できます。FOMHは、FOUPドアの三脚のようになり、ドア内部を汚染することなく立てて保管できます。
特長	・手動型・クリーンルームクラス1対応

対応ウエハサイズ（inch）
12