| 概要 | ウエハのオリフラを一括で自動整列するオリフラアライナーです。 RUNスイッチを押すとオリフラは底面で整列した後、あらかじめ設定した位置に自動で移動します。精度は±1°以内です。 オリフラの最終位置は16カ所に設定が可能です。 静電気対策ポリウレタン製ローラーは200万回超の回転に耐用。 ほとんどの乾湿両カセットおよび出荷・保管用カセットに対応します。 |
|---|---|
| 特長 |
|
| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 3 | AFEZ-3 |
| 4 | AFEZ-4 |
| 5 | AFEZ-5 |
| 6 | AFEZ-6 |
| 8 | AFEZ-8 |
| 概要 | ウエハのオリフラを一括で整列するオリフラアライナーです。 回転ノブを回しオリフラを底面で整列させた後、ローラー整列スイッチを切り替えてオリフラを任意の位置に移動させます。 静電気対策ポリウレタン製ローラーは200万回超の回転に耐用。 ほとんどの乾湿両カセットおよび出荷・保管用カセットに対応します。 |
|---|---|
| 特長 |
|
| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 3 | MFEZ3 |
| 4 | MFEZ4 |
| 6 | MFEZ6 |
| 8 | MFEZ8 |
| 概要 | 4、5、6インチ兼用のオリフラアライナーです。 回転ノブを回しオリフラを底面で整列させた後、リフトレバーを押しながら回転ノブを回し整列したオリフラを任意の位置に移動させます。 静電気対策ポリウレタン製ローラーは200万回超の回転に耐用。 ほとんどの乾湿両カセットおよび出荷・保管用カセットに対応します。 |
|---|---|
| 特長 |
|
| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 4, 5, 6 | FFTBAS-456 |
| 概要 | FFTB1型オリフラアライナーです。 ウエハをカセットから取り出すことなく一次・二次オリフラの整列ができます。 硬質透明陽極処理6061 T-6アルミ合金構造は、素材の重量が使用時の安定性を高め、耐久性・寸法安定性に優れます。 ほとんどの乾湿両カセットに対応。 |
|---|---|
| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 2 | FFTB1-2 |
| 3 | FFTB1-3 |
| 4 | FFTB1-4 |
| 5 | FFTB1-5 |
| 6 | FFTB1-6 |
| 8 | FFTB1-8 |
| 概要 | ウエハのノッチを一括で自動整列するノッチアライナーです。 RUNスイッチを押すとノッチは底面で自動整列した後、あらかじめ設定した位置に自動で移動します。精度は±1°以内です。 ノッチの最終位置は16カ所に設定が可能です。 静電気対策ポリウレタン製ローラーは200万回超の回転に耐用。 ほとんどの乾湿両カセットおよび出荷・保管用カセットに対応します。 |
|---|---|
| 特長 |
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| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 6 | ANFEZQ6 |
| 8 | ANFEZQ8 |
| 12 | 型式はお問い合わせ下さい。 |
| 概要 | ウエハのノッチを一括で整列するノッチアライナーです。 ローラー整列スイッチを切り替えてノッチを任意の位置に移動させます。 静電気対策ポリウレタン製ローラーは200万回超の回転に耐用。 ほとんどの乾湿両カセットおよび出荷・保管用カセットに対応します。 |
|---|---|
| 特長 |
|
| 対応ウエハサイズ（inch） | 型式 |
|---|---|
| 6 | NFEZQ6 |
| 8 | NFEZQ8 |
| 12 | 型式はお問い合わせ下さい。 |