真空中での低ノイズ測定が可能に
概要
簡単な操作で安定した測定を実現
真空中での半導体デバイスの低ノイズ測定を可能にした装置です。室温から160℃までの 温度範囲にて安定した測定が可能になります。
特長
チップ（20x20mm） ～ 8インチウェハ全面まで対応可能！
完全同軸測定系採用により±50fA以下の測定可能！
4～6本マニピュレーター、プローブカード等選択豊富な測定系
大気圧近くでの安定した微小真空度調整が可能
仕様
| 項目 | Grail88-MEMS |
| 装置寸法 | 1230(w) x 1340(d) x 1639(h) |
| 装置重量 | 600kg程度 |
| 測定エリア | 8インチウェハ全面以内 |
| 設置可能試料サイズ | チップ（20x20mm） ～ 8・6・4インチウェハ |
| 試料移動ステージ | XY軸200mm、Z軸20mm、θ軸±10mm程度 |
| プローブ数 | 4本（max 6本） |
| バックゲート | 1本 |
| プローブ構造 | SMA同軸プローブ針 |
| プローブガード | 可 |
| フィードスルー | TRIAXコネクター |
| 顕微鏡 | X22～150ズーム式顕微鏡 |
| 測定ノイズ | ±50fA以下 |
| 温度コントロール範囲 | -45℃～160℃ |
| 真空コントロール範囲 | 大気～10Pa |
| 保証 | 納入後1年 |