均一で効率的なナノスケールの
薄膜コーティング装置
超音波霧化ノズル技術に基づいた薄膜層堆積技術は均一性と制御性の高いコーティングが可能です。超音波スプレーコーティングの霧化は運動エネルギーの高いガスではなく超音波振動のため、オーバースプレーや飛散が少なく材料の消費量を大幅に削減します。
原理
超音波振動を利用し液剤を微細な液滴サイズに霧化。簡単に超音波スプレーコーティング処理が可能です。
超音波で微細霧化した液剤をエアーで基材に吹き付けます。
特長
卓上タイプで運用がしやすく、均一性と制御性の高いコーティングが可能です。お気軽に お問い合わせ 下さい。
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卓上タイプ
XYZサーボシステム -
超音波スプレーノズル
（特許取得済） -
デジタル制御超音波発信機
（特許取得済） -
最大塗布エリア：
300mm×300mm -
液送（流用制御）：
精密シリンジポンプ -
膜厚：
20nm～100um -
均一性：
＞ 95% -
液粘性：
＜ 20cps -
加熱プレート：
＜ 150℃ ※オプション
用途例
- ・フォトレジスト
- ・燃料電池
- ・太陽電池
- ・ガラス
- ・カテーテル（ステント、バルーン）
- ・その他、幅広い用途で薄膜コーティング可能
動画
その他の仕様
選べる2タイプのノズル
周波数と液滴サイズの関係
UC330型は120kHzと40kHzを選択できます。
スプレーパターン
