特長
取付フランジは、ANSI10“, ISO320又はCF14“の中からお選びいただけます。
オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
納入範囲（標準構成）
CP-12クライオポンプ
ヘリウム圧縮機（HC-8E4 or F-70L/H）
3Mフレキシブルガスホース
3Mコールドヘッドケーブル
ガスホース接続用レンチキット
標準仕様
| 項目 | MARATHON® CP-12 CRYOPUMP |
| 窒素（L/s） | 3,600 |
| 水（L/s） | 9,560 |
| アルゴン（L/s） | 3,100 |
| 水素（L/s） | 7,300 |
|
アルゴンスループット
（Torr - L/s） |
12.6 |
| アルゴン排気容量（Std L） | 2,000 |
| 水素排気容量（Std L） | 50 |
| クロスオーバー（Torr - L） | 650 |
| クールダウンタイム（分） | 90 |
| ポンプユニット重量（kg） | 41 |
| H寸法（mm) | 600 |
| メンテナンスサイクル（時間） | 13,000 |