ウエハ型マルチセンサー

プロセス中のウエハの振動・レベリング・温度・湿度を測定、データ化し可視化できる測定器です。

特長

・ウエハ形状
・オフライン測定
・ワイヤレス測定
・振動・レベリング・温度・湿度を測定

主な用途

・AGV (無人搬送車)
・FOUP
・ウエハストッカー
・ウエハロボット



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