選択的洗浄技術

さまざまな金属・樹脂の種類に合わせ、ナノレベルでダメージを制御可能な薬液をご提案可能です。

必要なものを残し、不必要なものを除去することを選択的洗浄と呼びます。例えば、生活における洗顔では、皮脂汚れは除去しつつ一定の油分は残るようにすることが必要です。このような選択的洗浄のニーズは産業分野での洗浄工程でも求められます。他方、 特定の対象物(汚れ)のみ除去性を上げることと、汚れが付着している母材へのダメージを抑えることはトレードオフの関係になることが多く、汚れや母材の種類が増えるにつれその難易度は増します。
半導体・電子部品・FPDなどの微細加工が必要な分野では、複数の異なる金属が積層されているデバイスを製造することが多くあります。この際に頻繁に問題になるのが、接触している金属同士のイオン化傾向の違いにより、特定の金属のみの溶解性が増してしまうガルバニック腐食という現象です。このガルバニック腐食を抑制することが 選択防食 です。その他、特定の金属・高分子の残渣のみを除去し他にはダメージを与えない選択残渣除去や、金属をエッチングした後の表面粗度を調整する エッチング粗度制御 、複数の異なる金属を同じ速度で溶解させる 等速エッチング といったニーズがあり、 私たちの選択的洗浄技術はそれらのニーズに応えることが可能です。

NAGASEがご提案可能な
4つの選択的洗浄技術

選択防食
選択防食
接触している異種金属、樹脂に対して、対象物のみ溶解もしくは防食可能
エッチング粗度制御
エッチング粗度制御
エッチング後の表面粗度をご要望に合わせて制御可能(粗化、平滑化)
選択残渣除去
選択残渣除去
保護対象物にダメージを与えず、対象物のみ除去可能
等速エッチング
等速エッチング
異なる金属を同じ速度でエッチング可能

選択的洗浄技術の適用例

技術紹介:異種金属接触腐食(ガルバニック腐食)の抑制
配合技術(別ページ説明)を活かし、通常ではイオン化傾向の違いで溶解してしまう金属の溶解を防止する薬液成分を実現し、ガルバニック腐食を抑制します。
汎用品 溶解(アンダーカット)あり
下地金属(Mo)が選択的に溶解
汎用品 溶解(アンダーカット)あり
Cu
Mo
下矢印
NAGASE品
ガルバニック腐食なし
NAGASE品 ガルバニック腐食なし
Moの腐食なし
Cu
Mo
右矢印

その他にもAuとNi、AuとTiなどさまざまな金属の組み合わせで生じるガルバニック腐食の抑制が可能ですので、詳しくはお問い合わせください。

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