配合技術
ppbレベルで金属イオン量をコントロール！高洗浄かつ低ダメージの薬液をご提案します。お客さまのさまざまな要望を満たすためには、１つの製品の中に複数の機能を持たせる必要があるのが通常です。複数の機能を持たせるためには、その機能を発現する複数の材料を１つの製品中に共存させる必要があります。
ところが、例えば無機物汚れと有機物汚れといった物性の大きく異なる汚れを１つの液で除去させようとした場合、１つの液体中に安定に溶解させることができないケースもでてきます。また、お客さまに安心して製品を使用して頂くためには、さまざまな成分が共存したケミカルが一定期間その性能を安定に保つことも必須条件です。
このように、複数の性能を満たしさまざまなトレードオフを解消する薬液の開発を実現するには、通常では共存できない成分を安定に混和させる技術が必要となります。
こういった困難な課題を実現するために重要となるのが配合技術です。複数の機能を持ちながら安定である製品を開発・製造するためのベースとなる、「縁の下の力持ち」とも言える技術です。
この配合技術をベースに、NAGASEは長年にわたり半導体・電子部品・FPDをはじめとする先端電子業界に30年以上薬液を提供し、業界の発展に貢献してきました。これからも、先端電子業界の進化に薬液開発と販売を通して貢献していきます。
配合技術例：水洗工程での油水分離
多くの電子デバイス産業分野等における洗浄工程では、洗浄液や剥離液・エッチングでの処理後に水ですすぎを行います。油系の汚れを除去する場合は、家庭用洗剤のような界面活性剤で乳化させたり、溶剤に可溶化させることが主ですが、水洗時には水の濁りが発生し、多くのすすぎ水が発生することが環境的面でも課題となることがあります。
NAGASEの配合技術を活かし、油系を汚れを除去しつつ、水洗工程で油が浮かび上がるようにして汚れの回収を容易にし、水の使用量の削減に貢献する、水洗工程で油水分離を可能とする剥離液の開発にも取り組んでいます。
油と水が相溶し、油汚れを洗浄対象から除去するまでに多量の水が必要
水すすぎ時に、油のみが脱離するよう、洗浄液・剥離液の成分を調整し、すすぎ水が濁らない
この例以外にも配合技術をベースとした次のようなことを実現可能です。
- ・フォトレジスト剥離液（ガルバニック腐食抑制対応型）
- ・特定の金属のみ溶解させ、他の金属は溶解させない選択エッチャント（低サイドエッチングエッチャント）
- ・特定樹脂のみの溶解除去液（アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂などの選択除去）
- ・寒冷地対応洗浄液（洗浄液の凝固防止）
- ・NMPなど規制対象溶剤を含まない洗浄液
環境貢献のための溶剤再利用と配合
NAGASEは、資源の有効活用等の観点から、社内に蒸留再生設備を導入し、有機溶剤の再利用を進めてきました。再生された溶剤の金属スペックや不純物成分の分析・調整も行いながら、リサイクル原料を利用した製品の販売も進めています。
これら技術を活かし、メタルや液中の微粒子数（パーティクル）を制御した薬液、リサイクル可能で廃棄物を削減する薬液の提供はもちろん、受託製造も可能な場合がありますので、ご興味があればお問い合わせください。
