ニュースリリース 2023年

2023.11.27
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国内初・半導体製造に使用される現像液の回収・再生の事業化

ナガセケムテックス（大阪市西区、代表取締役社長：藤井 悟）と長瀬産業株式会社（東京都千代田区、代表取締役社長： 上島 宏之）、Sachem Inc（President/CEO Rosemary Hoffman）は、半導体製造に使用される高純度現像液（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド：通称 TMAH）の回収・再生事業を展開します。


本事業は、3 社の合弁会社で現像液の再生事業を手掛ける SN Tech Corporation（以下「SN Tech」） が電解・精製技術を導入し新工場を東大阪に設立する計画です。半導体分野において、使用済みTMAH廃液を回収・再生し、再びTMAHとして再利用する取り組みは国内初の事例となります。
また、SN Tech 株式会社は現像液の廃液を原料として回収するプラント"Green Mobius System"の製造・販売も半導体工場向けに実施していく予定です。



詳細は、以下のプレスリリースをご覧ください。